Revista de Ingeniería

revinge | eISSN 2011-0049 | ISSN 0121-4993

Mediciones de rompimiento electrostático en separaciones micrométricas

No. 29 (2009-05-01)
  • Juan Sebastián Rodríguez
    Ingeniero Eléctrico y Electrónico, Estudiante de Maestría en Ingeniería Electrónica y Computadores, Universidad de los Andes. Bogotá D.C., Colombia. se-rodri@uniandes.edu.co
  • Sebastián Bonilla
    Ingeniero Eléctrico y Electrónico, Estudiante de Maestría en Ingeniería Electrónica y Computadores, Universidad de los Andes. Bogotá D.C., Colombia. ru-bonil@uniandes.edu.co
  • Alba Ávila
    Ph.D. en Física. Profesor Asistente, Departamento de Ingeniería Eléctrica y Electrónica, Universidad de los Andes. Bogotá D.C., Colombia a-avila@uniandes.edu.co
https://doi.org/10.16924/revinge.29.1

Resumen

La continua miniaturización de dispositivos electrónicos y electro-mecánicos ha permitido el estudio de efectos no visibles a macroescalas, como es el caso del comportamiento de electrodos separados a microescala. Se presenta aquí el comportamiento de electrodos de aluminio a presión atmosférica para un rango de separaciones de 1 μm a 22 μm. Convencionalmente, el comportamiento de electrodos se describe a partir de la curva de Paschen. Los resultados demuestran que, a separaciones menores de 4 μm, el voltaje de rompimiento en los electrodos decae drásticamente y no presenta un mínimo como lo predice la curva de Paschen. Esta modificación establece condiciones críticas de operación en dispositivos basados en electrodos con separaciones a microescalas [1, 2].

Palabras clave: Curva de Paschen, MEMS, rompimiento electrostático, voltaje de rompimiento